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多次打破国际技术封锁

BREAK THE INTERNATIONAL TECHNOLOGY BLOCKADE

干式真空泵

关键装备的进口替代，率先实现了国产干式真空泵在集成电路领域的应用。

真空仪器设备

数十年的研发制造积累，始终专注于真空技术及装备领域。

真空部件

各种升降样品台、运动及操作部件、旋转导入操作件等。

技术服务

为用户提供全面的技术服务，助力客户，探索科技的多种可能性。

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ABOUT US

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

公司主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公司产品主要包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。

公司简介

多年来，公司专注于洁净真空、超高真空技术的研究和发展。

组织机构

“国家分子束外延技术试验基地”、“国家真空仪器装置工程技术研究中心”和“真空技术装备国家工程实验室”等。

前身是中国科学院沈阳科学仪器研制中心，创建于1958年。

公司依靠自身的技术和人才优势，创造了多项国内第一。

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中国·沈阳市浑南新区新源街1号

024-23826801

sales@sky.ac.cn

友情链接：
中国科学院控股有限公司　　上海上凯仪真空技术有限公司
中国科学院沈阳分院

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